硅碳棒隨著使用時間的延長會逐漸老化，硅碳棒會逐漸氧化變成SiO2,Si0:的生成會導致硅碳棒的阻值越來越大，導致硅碳棒在原來的調功器上通電后就馬上燒壞，且硅碳棒老化一般是從800℃開始，且溫度越高，氧化反應越快因此硅碳棒在除氣箱中使用時，應該盡量降低硅碳棒的表面溫度，保證硅碳棒設定溫度不超過8000C，以減慢硅碳棒的老化速度。