風道模擬裝置連續運行30天以后將硅碳棒電熱元件拆出，硅碳棒電熱元件耐高溫防腐涂層表面有污物附著沉積，涂層沒有任何凸起、局部脫落、變色等問題，涂層緊密附著于元件表面，使用刮研工具將硅碳棒元件表面涂層刮去后可見元件金屬外殼有金屬光澤，沒有氧化腐蝕痕跡。由此可見，耐高溫防腐蝕涂料應用于風道硅碳棒電熱元件表面不僅可以耐高溫及腐蝕，對于提升硅碳棒電熱元件金屬外殼的抗高溫氧化腐蝕性能也有一定的效果。

       本文研究了耐高溫防腐涂料可以應用在風道硅碳棒電熱元件上，風道硅碳棒電熱元件噴涂后其耐鹽霧腐蝕的性能有較大程度的提升，由于使用聚四氟乙烯及陶瓷微粒為基材，因此，該涂料不僅耐腐蝕并且耐高溫性能也較強。船舶、化工等行業也同樣可以應用，具有相當廣闊的使用前景。但是，該涂料需要高溫固化的特性限制了其在大型設備上的應用，大型設備及構件噴涂后需要配合大型烘干設備，后續我們還會對該涂料進行優化。

       表1比較了目前單晶硅碳棒電熱元件不同切片工藝的主流加工質量。傳統的金剛石鋸片內圓鋸切只適用材料的粗加工，無法應用于大尺寸單晶硅碳棒電熱元件的精密加工。目前硅碳棒電熱元件晶錠的切片技術主要有砂漿線切割、金剛線切割以及超聲輔助的金剛線切割。砂漿線切割的工藝最成熟，是常見的切割方式之一，其切片最小厚度為D.2 mm，但材料去除效率低且污染環境，切割損耗較高。金剛線切割的切片厚度小于0. 4 mm時，切片效率較高，對環境友好，可以用于大尺寸單晶硅碳棒電熱元件的精密加工，但由于高硬度的金剛石磨粒直接與晶片表面接觸，加工中容易造成晶片隱裂或破碎，此外，切割時脫落的金剛石磨粒和碎屑若不能及時排出，將影響線鋸的切割能力，增加切割時長，并且給晶圓表面造成線痕等損傷。超聲輔助的金剛線切割增加了線鋸壽命，提高了硅碳棒電熱元件的表面質量，適用于單晶硅碳棒電熱元件的精密加工，切片成本較高，尚未廣泛應用。www.0316e.com